南寧鎢鈦合金靶材

液態鈦簡直能溶解一切的金屬，因而能夠和多種金屬構成合金。鈦參加鋼中制得的鈦鋼堅韌而賦有彈性。鈦與金屬Al、Sb、Be、Cr、Fe等生成填隙式化合物或金屬間化合物

以高純度W和Ti制成的合金。常用的成分為含10%Ti的W-10Ti。......和鈦粉經混合、壓制和特殊的燒結工藝或用真空熱壓、熱等靜壓等工藝制成。用作**大規模集成電路薄膜工藝中的濺射靶。鎢鈦薄膜具有良好的導電性和耐蝕性。

由于合金靶材的純度關系到濺射薄膜的性能,靶材的純度越高,碳雜質含量越低,加工工藝通常采用惰性氣體保護降低碳雜質的影響。為實現高機械性能與工藝性能,需盡量提高合金的純度,對碳元素含量的檢測要求相應提高

密度
9.3～13.2
導熱系數
20.9～62.8
熱膨脹系數
7.0～6.06
洛氏硬度
92.5～89.5
抗彎強度
900～1400Mpa
彈性磨量
400～600
熔點（碳化物）
3413(k)
軟化溫度
1573(k)
電阻率
不同溫度電阻率不同，一般不計

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