品名WTi
是否危險化學品否
雜質含量0.05
主要金屬含量99.95
產地株洲
密度
9.3~13.2
導熱系數
20.9~62.8
熱膨脹系數
7.0~6.06
洛氏硬度
92.5~89.5
抗彎強度
900~1400Mpa
彈性磨量
400~600
熔點(碳化物)
3413(k)
軟化溫度
1573(k)
電阻率
不同溫度電阻率不同,一般不計
由于合金靶材的純度關系到濺射薄膜的性能,靶材的純度越高,碳雜質含量越低,加工工藝通常采用惰性氣體保護降低碳雜質的影響。為實現高機械性能與工藝性能,需盡量提高合金的純度,對碳元素含量的檢測要求相應提高
金屬鎢 與 金屬 Ti 通過粉末冶金的方式 制備的合金材料,通常有W-10Ti at% 主要應用于集成電路的薄膜制程
一般說
來,在顆粒大小等其實條件相等的條件下,碳化鎢的含量百分比越高,硬質合金所表現出的硬度就越高,這意味著它的耐磨性較高。但同時也意味著它的鈷的含量百分比較低,表現為韌性較低,耐沖擊性較低。就目前的技術來說,顆粒細化、涂層、梯度合金(主要指富鈷層)等一些技術可以在維持原有韌性的同時適當提高一些耐磨性,但就同樣采用了這些技術的產品來說,基本規律并沒有變化。
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