品名WTi
是否危險化學品否
雜質含量0.05
主要金屬含量99.95
產地株洲
W-Ti合金具有良好的熱穩定性、低的電子遷移率、高的抗腐蝕性及化學穩定性等優勢,特別適合在高溫和高電流環境下使用,因而成為了金屬布線擴散阻擋層的主導材料之一
由于合金靶材的純度關系到濺射薄膜的性能,靶材的純度越高,碳雜質含量越低,加工工藝通常采用惰性氣體保護降低碳雜質的影響。為實現高機械性能與工藝性能,需盡量提高合金的純度,對碳元素含量的檢測要求相應提高
金屬鎢 與 金屬 Ti 通過粉末冶金的方式 制備的合金材料，通常有W-10Ti at% 主要應用于集成電路的薄膜制程
密度
9.3～13.2
導熱系數
20.9～62.8
熱膨脹系數
7.0～6.06
洛氏硬度
92.5～89.5
抗彎強度
900～1400Mpa
彈性磨量
400～600
熔點（碳化物）
3413(k)
軟化溫度
1573(k)
電阻率
不同溫度電阻率不同，一般不計
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