Ni-Cr系合金靶材在濺射鍍膜工業中應用廣泛,結合材料計算模擬和少量關鍵實驗,定量化地研究了M-Cr系合金材料在熱處理過程的相結構、相轉變和顯微組織特征,以及離子束濺射中入射離子與Ni-Cr系合金靶材固體之間的相互作用
鎳鉻合金薄膜的3種制備方法:真空蒸發沉積、磁控濺射沉積和離子束沉積;討論了基底、工作氣壓、沉積時間等薄膜制備工藝參數以及退火工藝對薄膜性能的影響。
高電阻電熱合金(高鎳及鐵鉻鋁)、高溫合金、精密合金、耐熱合金、特種合金、不銹鋼等都是常見和常用的鎳鉻合金.
鎳鉻合金靶材廣泛用途
鎳鉻合金靶材耐腐蝕,價格低廉,是我國做的多的烤瓷牙內冠。醫用鎳鎘合金,主要由鎳、鉻及其他少量對人體無害的金屬元素組成,鎳鉻合金靶材對人體的不良影響主要是其中的鎳引起的。
鎳鉻靶材目前比例主要有鎳鉻80:20 鎳鉻50:50 鎳鉻 60:40等 這三種比例常用
當Ni元素的原子含量在20%70%時,均勻化熱處理在1200-1300℃之間比較適宜,而均勻化退火時間隨退火溫度的選取高低而不同,在2~24h的范圍內變動?;陔S機級聯碰撞理論和蒙特卡洛方法,對離子束濺射中入射離子與M-Cr系合金靶材固體之間的相互作用進行模擬的結果表明,由于Ni和Cr的原子表面能較為接近,M-Cr系合金靶材的濺射產物成分與靶材成分不發生明顯偏差,有利于靶材成分的選擇和薄膜成分的控制
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